應滿足具體產品生產工藝要求；地面應平整、耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等；國內外對工業產品用潔凈室地面都采用多種形式，目前主要常用潔凈室地面有水磨石地面、涂布型地面、粘貼性地面和金屬隔珊通風地板等。

1、水磨石地面具有整體性好、光滑、耐磨、不易起塵、容易清洗、防靜電、無彈性等特點，但因受實際材料和施工質量容易失控等問題，在電子產品生產中較少使用，比較適用于食品、化妝品、普通原料藥工業。

2、涂布型地面又分為聚氨酯涂料和環氧樹脂或聚酯樹脂砂漿、膠泥地面。聚氨酯涂料在室溫下干燥固化，同金屬、混凝土等有良好的附著力、易與施工；具有表面光潔、彈性好、易于清洗，耐水、奶油、耐腐蝕和耐磨等。在環氧或聚酯樹脂中加入硬化劑、顏料等，采用涂層施工法或流延試工法（即自流平）或膠泥施工法；具有施工方便，耐腐蝕、耐水、機械強度好，耐沖擊，表面潔凈美觀，若添加防靜電材料，導電性能好等，是目前工業產品用在潔凈室的常用地面。

3、粘貼性地面有聚氯乙烯軟板、聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式。具有一定的彈性，較耐磨不起塵、易清洗、耐腐蝕、防靜電、較美觀等，但整體性差，接縫和粘貼施工質量失控后，影響使用效果，適用于電子、精密制造一般潔凈室，制藥工業使用的較少。

4、金屬隔珊通風地板用于垂直單項流潔凈室作為回風隔柵使用。一般采用多孔板，應用是由若干活動的單元穿孔辦拼接而成，配置于相應的支撐結構上，多孔板的數量、開孔率和安裝位置應根據單項流潔凈室的氣流速度、風量確定。通常多孔板的開孔率約為6%~40%。主要適用于電子工業、精密制造工業、宇航工業的別潔凈室。